用語集

クリーンルーム

クリーンルーム クリーンルームとは空気中の塵埃を除去するためのルーム。超高性能エアフィルタ（HEPAなど）を通した空気を送り込み、そして室内から吸い込んだ空気を排気または循環させる。 外部からの塵埃の流入を防止するため、室内気圧を外気圧より5～10Pa程度上げ、陽圧します。 また、用途に応じて気流の制御が行われます。

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